X線CTシステム撮影事例集

XVA-160RZにてインターポーザー基板をCT撮影し、

はんだクラックを検出した事例です。

XVA-160RZは半導体、電子部品、電子モジュールの品質保証・故障解析・検査用途でオールマイティーに使用できる3次元X線CTシステムです。

透視観察機能、3次元斜めCT機能、直交CT機能など用途に応じて使い分けをすることで、効率的に解析業務を進めるだけでなく、解析の成功率を劇的に向上させます。また、標準搭載されているプログラム運転機能を使うことで、製品選別や抜き取り検査用途で使用いただくことも可能です。

XVA-160RZにてFETをCT撮影し、ボイドを検出した事例です。

FET(電界効果トランジスタ)を3次元斜めCTで撮影した事例です。
透視撮影では実装部のはんだとチップ下のはんだが重なり合って各層のボイドを見分ける事が困難です。そこで、CT撮影をする事で添付資料のように断層を分けて観察する事が可能となります。
XVA-160RZはユーセントリック機能によって透視観察の段階で撮影部位を指定し、そのままサンプルを取り出すことなく、3次元斜めCTの撮影に移行することができるため、工数削減にも繋がります。

XVA-160RZにてQFPをCT撮影した事例です。

QFP(Quad Flat Package)を直交CTで撮影した事例です。
内部のチップパターンまで細かく観察する事が出来ます。
XVA-160RZはステージの交換はせずに専用のユニットを装着するだけで簡単に直交CTの撮影が行う事が出来ます。
斜めCTと同様に直交CTも高倍率での撮影が可能です。

XVA-160RZにて透過画像のフィルター処理を行った事例です。

自社開発ソフトウェア”Jasper”は多彩な線源、カメラに対応できるマルチデバイス制御ソフトウェアです。フィルター加工前では見えていなかったパターンやボイド、ワイヤーの打痕もフィルター処理をする事により、はっきりと見えるようになっています。
撮影画像の後処理だけではなく、ライブ観察時にも使用する事が可能なので工数削減にも貢献いたします。