3次元斜めCT機能
斜め方向からの撮影で大型基板も破壊することなくCT撮影
サンプルに対して垂直にX線を照射する一般的な横型CTでは、アスペクト比のある大型基板などは断層データがノイズだらけになってしまいます。
それに対し、斜めCTはユーセントリック機能を利用してディテクタを斜め方向に傾斜した状態でCT撮影を行うため、大型基板でも360度方向同一条件での撮影ができます。
また、X線焦点に着目部位を近づけることができるため、高拡大倍率での断層撮影も可能です。
特別な治具も不要で、サンプルをステージ上に置くだけで断層撮影ができるという高い操作性も実現しました。
ぜひ、YouTube動画もご覧ください！
3次元X線CTシステム製品紹介
【NEW！】超大型サイズ対応 超高倍率 ナノオーダー解析を実現した
ウルトラハイエンド大型ワーク対応モデル 【XVA-160□520】
超大型サイズ対応、超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーサイズ(250/800nm)を実現した、ラージサイズ対応超高分解能モデルです。
【標準仕様】
■ナノフォーカスX線発生器
■フラットパネルディテクタ
■ユーセントリック機能
■超高倍率（2,000倍）
■フォーカスサイズ切り替え機能（250/800nm）
■大型ステージ搭載（520mmサイズ対応）
■可視光マッピング機能
■光軸・回転中心自動調整機能
■フォーカス自動調整機能
超高倍率 ナノオーダー解析を実現したウルトラハイエンドモデル
【XVA-160αII"Z"】
超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーのフォーカスサイズ(250/800nm)を実現した超高分解能モデルです。
【標準仕様】
■ナノフォーカスX線発生器
■フラットパネルディテクタ
■ユーセントリック機能
■超高倍率（2,000倍）
■フォーカスサイズ切り替え機能（250/800nm）
■高精細トップテーブル
■可視光マッピング機能
■光軸・回転中心自動調整機能
■フォーカス自動調整機能
【NEW！】ナノフォーカス発生器搭載 ミドルレンジ～ハイエンド対応モデル【XVA-160RA】
フォーカスサイズ切り替え（250/800nm）に対応した、ナノフォーカス発生器を搭載したモデルです。
【標準仕様】
■ナノフォーカスX線発生器
■フラットパネルディテクタ
■ユーセントリック機能
■高倍率（1,600倍）
■フォーカスサイズ切り替え機能（250/800nm）
■可視光マッピング機能
■フォーカス自動調整機能
ミドルレンジ解析に適したスタンダードモデル
【XVA-160RZ】
幅広い用途に対応する、実用性を追求したスタンダードモデルです。
ステージサイズ□500mm 大型ワーク対応モデル
【EVA-160】
新型プラットフォームと新画像処理を組み合わせ、大型基板にも対応できるモデルです。
【標準仕様】
■マイクロフォーカスX線発生器
■フラットパネルディテクタ
■ユーセントリック機能
■大型ステージ搭載（500mmサイズ対応）
■可視光マッピング機能
■フォーカス自動調整機能
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