斜めCTと直交CTの違い
CT撮影において、倍率を上げるためにはX線発生器にサンプルを近づける必要があります。
直交CT撮影においては、平たく大きな基板サンプル等は回転半径分X線源に近づけられないため、着目ポイントに対して低倍率での観察に留まっていました。
斜めCT撮影ではステージ回転中にX線源と干渉しないため、直交CTでは実現しなかった高倍率での撮影が可能となります。
更に弊社装置の特長であるユーセントリック機構により、サンプルステージ上で着目ポイントがどこにあっても斜めCT撮影を行うことが可能です。
3次元X線CTシステム製品紹介
【NEW！】超大型サイズ対応 超高倍率 ナノオーダー解析を実現したウルトラハイエンド大型ワーク対応モデル
【XVA-160□520】
超大型サイズ対応、超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーサイズ(250/800nm)を実現した、ラージサイズ対応超高分解能モデルです。
【標準仕様】
■ナノフォーカスX線発生器
■フラットパネルディテクタ
■ユーセントリック機能
■超高倍率（2,000倍）
■フォーカスサイズ切り替え機能（250/800nm）
■大型ステージ搭載（520mmサイズ対応）
■可視光マッピング機能
■光軸・回転中心自動調整機能
■フォーカス自動調整機能
超高倍率 ナノオーダー解析を実現したウルトラハイエンドモデル
【XVA-160αII"Z"】
超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーのフォーカスサイズ(250/800nm)を実現した超高分解能モデルです。
【標準仕様】
■ナノフォーカスX線発生器
■フラットパネルディテクタ
■ユーセントリック機能
■超高倍率（2,000倍）
■フォーカスサイズ切り替え機能（250/800nm）
■高精細トップテーブル
■可視光マッピング機能
■光軸・回転中心自動調整機能
■フォーカス自動調整機能
【NEW！】ナノフォーカス発生器搭載 ミドルレンジ～ハイエンド対応モデル【XVA-160RA】
フォーカスサイズ切り替え（250/800nm）に対応した、ナノフォーカス発生器を搭載したモデルです。
【標準仕様】
■ナノフォーカスX線発生器
■フラットパネルディテクタ
■ユーセントリック機能
■高倍率（1,600倍）
■フォーカスサイズ切り替え機能（250/800nm）
■可視光マッピング機能
■フォーカス自動調整機能
ミドルレンジ解析に適したスタンダードモデル【XVA-160RZ】
ミドルレンジ解析に適したスタンダードモデル
【XVA-160RZ】
幅広い用途に対応する、実用性を追求したスタンダードモデルです。
ステージサイズ□500mm 大型ワーク対応モデル
【EVA-160】
新型プラットフォームと新画像処理を組み合わせ、大型基板にも対応できるモデルです。
【標準仕様】
■マイクロフォーカスX線発生器
■フラットパネルディテクタ
■ユーセントリック機能
■大型ステージ搭載（500mmサイズ対応）
■可視光マッピング機能
■フォーカス自動調整機能
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