大型ワーク対応

マイクロフォーカス 3次元X線CTシステム

EVA-160

ステージサイズ□500mm 大型ワーク対応モデル

新型プラットフォームと新画像処理で、大型基板にも対応

こんな課題を解決します

大型ワークの観察に特化した専用設計。

EVA-160が、大型基板の解析ニーズに応えます。

✓ 大型基板やワークを非破壊で観察したい

✓ 従来の装置ではサイズが合わず対応できなかった

✓ 大型サンプルでも高精度な解析が必要

✓ CT撮影時のサンプルズレで正確な解析ができない

4つの特長

特長1: 大型ステージで500mmサイズに対応

ステージサイズ: □500mm

新型プラットフォームにより、大型基板にも対応。

従来では観察が難しかった大型ワークの非破壊CT観察が可能になります。

特長2: 世界トップクラスの斜めCT技術

独自技術のユーセントリック機構(特許取得済み)により、ディテクタ傾斜時・ステージ回転時も着目ポイントを中央に捉え続け、ステージ上どこでも斜めCT撮影が可能です。

さらに高解像度を生み出す再構成アルゴリズムにより、高倍率の斜めCT撮影を実現します。

特長3: ユーセントリック機構搭載

ディテクタ傾斜時、ステージ回転時もサンプルを中央に捉え続け、スムーズな解析をご提供いたします。

(特許取得済み No.3657768)

特長4: 自社開発制御ソフトウェア"Jasper"標準装備

ユーザー様からのご意見・ご要望をベースに作り上げているため、誰でも直感的に操作することが可能です。

標準機能

 EVA-160には、大型ワーク観察を支える充実の機能が標準装備されています。

✅ マイクロフォーカスX線発生器(160kV)

✅ フラットパネルディテクタ

✅ ユーセントリック機能(特許取得済み)

✅ 大型ステージ搭載(500mmサイズ対応)

✅ 可視光マッピング機能

✅ フォーカス自動調整機能

✅ 自社開発制御ソフトウェア"Jasper"

オプション機能

さらに解析の幅を広げる、オプション機能もご用意しています。

✅ 3次元斜めCT機能

✅ 3次元斜めCT機能[Advance]

✅ 直交CT機能

✅ 直交CT機能[Advance]

✅ 閲覧・演算用PC（PC2台体制）

【NEW！】超大型サイズ対応 超高倍率 ナノオーダー解析を実現したウルトラハイエンド大型ワーク対応モデル

【XVA-160□520】

超大型サイズ対応、超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーサイズ(250/800nm)を実現した、ラージサイズ対応超高分解能モデルです。

超高倍率 ナノオーダー解析を実現したウルトラハイエンドモデル

【XVA-160αII"Z"】

超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーのフォーカスサイズ(250/800nm)を実現した超高分解能モデルです。

【NEW！】ナノフォーカス発生器搭載 ミドルレンジ～ハイエンド対応モデル【XVA-160RA】

フォーカスサイズ切り替え（250/800nm）に対応した、ナノフォーカス発生器を搭載したモデルです。

ミドルレンジ解析に適したスタンダードモデル

【XVA-160RZ】

幅広い用途に対応する、実用性を追求したスタンダードモデルです。

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