【NEW】

超大型基板対応 ナノフォーカスX線CTシステム XVA-160□520

業界最大クラスの観察エリア520mm×520mm

ナノオーダー解析(250/800nm)×超高倍率(2,000倍)を実現

こんな課題を解決します

大型基板の内部を非破壊で詳細に観察したい。

そんなお悩みを、XVA-160□520が解決します。

✓ 大型ガラス/プリント基板の非破壊解析がしたい

✓ 従来のX線装置では対応できなかった大型ワークのCT観察

✓ 大型ワーク内部の微細構造を観察したい

4つの特長

特長1: 業界最大クラスの観察エリア

最大視野: 520mm × 520mm

最大搭載サイズ: 630mm × 630mm

従来では対応が難しかった大型ワークの非破壊解析が可能になります。

特長2: 超高分解能を実現するナノフォーカスX線発生器搭載

最小フォーカスサイズ: 250nm(0.25μm)

最大幾何学倍率: 2,000倍

160kVナノフォーカスX線発生装置により、微細構造まで鮮明に観察できます。

特長3: 広範囲×高倍率の斜めCT技術

独自技術のユーセントリック機構(特許取得済み)により、ディテクタ傾斜時・ステージ回転時も着目ポイントを中央に捉え続け、ステージ上どこでも斜めCT撮影が可能です。

そのためXVA-160□520では、斜めCT撮影を広範囲（520mm × 520mm）で行うことができます。

また高解像度を生み出す再構成アルゴリズムにより、広範囲×高倍率の斜めCT撮影を実現します。

特長4: 自社開発制御ソフトウェア"Jasper"標準装備

ユーザー様からのご意見・ご要望をベースに、自社で制御ソフトを開発。

直感的なインターフェースでどなたでも操作することが可能です。

標準機能

XVA-160□520には、高精度観察を支える充実の機能が標準装備されています。

✅ ナノフォーカスX線発生器(160kV)

✅ フォーカスサイズ切り替え機能(250nm/800nm)

✅ フラットパネルディテクタ

✅ ユーセントリック機能(特許取得済み)

✅ 最大幾何学倍率 2,000倍

✅ 大型ステージ搭載(520mmサイズ対応)

✅ 可視光マッピング機能

✅ 光軸・回転中心自動調整機能

✅ フォーカス自動調整機能

✅ 自社開発制御ソフトウェア"Jasper" 

オプション機能

さらに解析の幅を広げる、オプション機能もご用意しています。

✅ 3次元斜めCT機能

✅ 3次元斜めCT機能[Advance]

✅ 直交CT機能

✅ 直交CT機能[Advance]

✅ 閲覧・演算用PC（PC2台体制）

超高倍率 ナノオーダー解析を実現したウルトラハイエンドモデル 【XVA-160αII"Z"】

超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーのフォーカスサイズ(250/800nm)を実現した超高分解能モデルです。

【NEW！】ナノフォーカス発生器搭載 ミドルレンジ～ハイエンド対応モデル【XVA-160RA】

フォーカスサイズ切り替え（250/800nm）に対応した、ナノフォーカス発生器を搭載したモデルです。

ミドルレンジ解析に適したスタンダードモデル【XVA-160RZ】

幅広い用途に対応する、実用性を追求したスタンダードモデルです。

ステージサイズ□500mm 大型ワーク対応モデル【EVA-160】

新型プラットフォームと新画像処理を組み合わせ、大型基板にも対応できるモデルです。

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