【NEW】

高分解能ナノフォーカス 3次元X線CTシステム XVA-160RA

ナノフォーカスX線発生器搭載 ミドルレンジ～ハイエンド対応モデル

上位機種のX線源を搭載し、高度な解析を実現

フォーカスサイズ切り替え対応(250nm/800nm)×最大倍率1,600倍

こんな課題を解決します

フォーカスサイズの使い分けで、幅広いサンプルに柔軟対応。

XVA-160RAが、あなたの解析ニーズに応えます。

✓ 様々なサイズ・材質のサンプルに1台で対応したい

✓ サンプルに応じてフォーカスサイズを使い分けたい

✓ ナノレベルの微細構造まで観察したい

✓ CT撮影時のサンプルズレで正確な解析ができない

4つの特長

特長1: 超高分解能を実現するナノフォーカスX線発生器搭載

最小フォーカスサイズ: 250nm(0.25μm)

最大幾何学倍率: 1,600倍

ナノオーダーのフォーカスサイズにより、微細構造を極限まで鮮明に観察。

これまで見えなかった微細な不具合・欠陥を非破壊で可視化します。

特長2: 世界トップクラスの斜めCT技術

独自技術のユーセントリック機構(特許取得済み)により、ディテクタ傾斜時・ステージ回転時も着目ポイントを中央に捉え続け、ステージ上どこでも斜めCT撮影が可能です。

さらに高解像度を生み出す再構成アルゴリズムにより、高倍率の斜めCT撮影を実現します。

特長3: 充実した基本機能

自動撮影が可能なティーチング機能や撮影箇所をわかりやすくサポートする可視光マッピング機能等、充実した基本機能を搭載しています。

特長4: 自社開発制御ソフトウェア"Jasper"標準装備

ユーザー様からのご意見・ご要望をベースに、自社で制御ソフトを開発。

直感的なインターフェースでどなたでも操作することが可能です。

標準機能

XVA-160RAには、高精度観察を支える充実した機能が標準装備されています。

✅ ナノフォーカスX線発生器(160kV)

✅ フォーカスサイズ切り替え機能(250nm/800nm)

✅ フラットパネルディテクタ

✅ ユーセントリック機能(特許取得済み)

✅ 最大幾何学倍率 1,600倍

✅ 可視光マッピング機能

✅ フォーカス自動調整機能

✅ 自社開発制御ソフトウェア"Jasper"

オプション機能

さらに解析の幅を広げる、オプション機能もご用意しています。

✅ 3次元斜めCT機能

✅ 3次元斜めCT機能[Advance]

✅ 直交CT機能

✅ 直交CT機能[Advance]

✅ 閲覧・演算用PC（PC2台体制）

【NEW！】超大型サイズ対応 超高倍率 ナノオーダー解析を実現したウルトラハイエンド大型ワーク対応モデル 【XVA-160□520】

超大型サイズ対応、超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーサイズ(250/800nm)を実現した、ラージサイズ対応超高分解能モデルです。

超高倍率 ナノオーダー解析を実現したウルトラハイエンドモデル 【XVA-160αII"Z"】

超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーのフォーカスサイズ(250/800nm)を実現した超高分解能モデルです。

ミドルレンジ解析に適したスタンダードモデル【XVA-160RZ】

幅広い用途に対応する、実用性を追求したスタンダードモデルです。

ステージサイズ□500mm 大型ワーク対応モデル【EVA-160】

新型プラットフォームと新画像処理を組み合わせ、大型基板にも対応できるモデルです。

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