高分解能
マイクロフォーカス3次元X線CTシステム
XVA-160RZ
ミドルレンジ解析に適したスタンダードモデル
幅広い用途に対応する、実用性を追求した高倍率1,600倍
こんな課題を解決します
実用性と性能を両立したスタンダードモデル。
XVA-160RZが、幅広い解析ニーズに応えます。
✓ 幅広い用途に対応できる装置が欲しい
✓ 標準的な観察から詳細解析まで柔軟に対応したい
✓ 信頼性の高い実績あるモデルを選びたい
✓ CT撮影時のサンプルズレで正確な解析ができない
4つの特長
特長1: 実用性を追求した高分解能
最大倍率: 1,600倍
階調数: 16bit(65,536諧調)
ミドルレンジ解析に最適な分解能で、幅広いサンプルに対応。 実用性と性能のバランスを追求したスタンダードモデルです。
特長2: 世界トップクラスの斜めCT技術
独自技術のユーセントリック機構(特許取得済み)により、ディテクタ傾斜時・ステージ回転時も着目ポイントを中央に捉え続け、ステージ上どこでも斜めCT撮影が可能です。
さらに高解像度を生み出す再構成アルゴリズムにより、高倍率の斜めCT撮影を実現します。
特長3: ユーセントリック機構搭載
ディテクタ傾斜時、ステージ回転時もサンプルを中央に捉え続け、スムーズな解析をご提供いたします。
(特許取得済み No.3657768)
特長4: 自社開発制御ソフトウェア"Jasper"標準装備
ユーザー様からのご意見・ご要望をベースに作り上げているため、誰でも直感的に操作することが可能です。
標準機能
XVA-160RZには、高精度観察を支える充実の機能が標準装備されています。
✅ マイクロフォーカスX線発生器(160kV)
✅ フラットパネルディテクタ
✅ ユーセントリック機能(特許取得済み)
✅ 最大幾何学倍率 1,600倍
✅ 可視光マッピング機能
✅ フォーカス自動調整機能
✅ 自社開発制御ソフトウェア"Jasper"
オプション機能
さらに解析の幅を広げる、オプション機能もご用意しています。
✅ 3次元斜めCT機能
✅ 3次元斜めCT機能[Advance]
✅ 直交CT機能
✅ 直交CT機能[Advance]
✅ 閲覧・演算用PC(PC2台体制)
【NEW!】超大型サイズ対応 超高倍率 ナノオーダー解析を実現したウルトラハイエンド大型ワーク対応モデル 【XVA-160□520】
超大型サイズ対応、超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーサイズ(250/800nm)を実現した、ラージサイズ対応超高分解能モデルです。
【標準仕様】
■ナノフォーカスX線発生器
■フラットパネルディテクタ
■ユーセントリック機能
■超高倍率(2,000倍)
■フォーカスサイズ切り替え機能(250/800nm)
■大型ステージ搭載(520mmサイズ対応)
■可視光マッピング機能
■光軸・回転中心自動調整機能
■フォーカス自動調整機能
超高倍率 ナノオーダー解析を実現したウルトラハイエンドモデル 【XVA-160αII"Z"】
超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーのフォーカスサイズ(250/800nm)を実現した超高分解能モデルです。
【標準仕様】
■ナノフォーカスX線発生器
■フラットパネルディテクタ
■ユーセントリック機能
■超高倍率(2,000倍)
■フォーカスサイズ切り替え機能(250/800nm)
■高精細トップテーブル
■可視光マッピング機能
■光軸・回転中心自動調整機能
■フォーカス自動調整機能
【NEW!】ナノフォーカス発生器搭載 ミドルレンジ~ハイエンド対応モデル【XVA-160RA】
フォーカスサイズ切り替え(250/800nm)に対応した、ナノフォーカス発生器を搭載したモデルです。
【標準仕様】
■ナノフォーカスX線発生器
■フラットパネルディテクタ
■ユーセントリック機能
■高倍率(1,600倍)
■フォーカスサイズ切り替え機能(250/800nm)
■可視光マッピング機能
■フォーカス自動調整機能
ステージサイズ□500mm 大型ワーク対応モデル【EVA-160】
新型プラットフォームと新画像処理を組み合わせ、大型基板にも対応できるモデルです。
【標準仕様】
■マイクロフォーカスX線発生器
■フラットパネルディテクタ
■ユーセントリック機能
■大型ステージ搭載(500mmサイズ対応)
■可視光マッピング機能
■フォーカス自動調整機能
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