超高分解能ナノフォーカス 3次元X線CTシステム

XVA-160αII"Z"

超高倍率 ナノオーダー解析を実現したウルトラハイエンドモデル

ナノオーダー解析(250/800nm)×最大倍率2,000倍

こんな課題を解決します

ナノフォーカスの超高分解能観察で、これまで見えなかった世界を可視化。

XVA-160αII"Z"が、最高峰の解析を実現します。

✓ ナノオーダーの微細構造を鮮明に観察したい

✓ 超高倍率での詳細解析が必要

✓ 最高レベルの分解能を求めている

4つの特長

特長1: 超高分解能を実現するナノフォーカスX線発生器搭載

最小フォーカスサイズ: 250nm(0.25μm)

最大幾何学倍率: 2,000倍

ナノオーダーのフォーカスサイズにより、微細構造を極限まで鮮明に観察。

これまで見えなかった微細な不具合・欠陥を非破壊で可視化します。

特長2: 世界トップクラスの超高倍率斜めCT撮影

独自技術のユーセントリック機構(特許取得済み)により、ディテクタ傾斜時・ステージ回転時も着目ポイントを中央に捉え続け、ステージ上どこでも斜めCT撮影が可能です。

XVA-160αⅡ"Z"では、斜めCT技術のパイオニアとして培ってきた高精度メカ機構を採用。

高解像度を生み出す再構成アルゴリズムを組み合わせ、超高倍率の斜めCT撮影を実現します。

特長3: 自動光軸調整機能を搭載

ボタン一つで行える、自動光軸調整機能を搭載。

ユーザー様で常に最高のCT撮影性能を維持することができます。

特長4: 自社開発制御ソフトウェア"Jasper"標準装備

ユーザー様からのご意見・ご要望をベースに、自社で制御ソフトを開発。

直感的なインターフェースでどなたでも操作することが可能です。

標準機能

XVA-160αII"Z"には、超高分解能観察を支える最高峰の機能が標準装備されています。

✅ ナノフォーカスX線発生器(160kV)

✅ フォーカスサイズ切り替え機能(250nm/800nm)

✅ フラットパネルディテクタ

✅ ユーセントリック機能(特許取得済み)

✅ 最大幾何学倍率 2,000倍

✅ 高精細トップテーブル

✅ 可視光マッピング機能

✅ 光軸・回転中心自動調整機能

✅ フォーカス自動調整機能

✅ 自社開発制御ソフトウェア"Jasper"

オプション機能

さらに解析の幅を広げる、オプション機能もご用意しています。

✅ 3次元斜めCT機能

✅ 3次元斜めCT機能[Advance]

✅ 直交CT機能

✅ 直交CT機能[Advance]

✅ 閲覧・演算用PC（PC2台体制）

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超大型サイズ対応、超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーサイズ(250/800nm)を実現した、ラージサイズ対応超高分解能モデルです。

【NEW！】ナノフォーカス発生器搭載 ミドルレンジ～ハイエンド対応モデル【XVA-160RA】

フォーカスサイズ切り替え（250/800nm）に対応した、ナノフォーカス発生器を搭載したモデルです。

ミドルレンジ解析に適したスタンダードモデル【XVA-160RZ】

幅広い用途に対応する、実用性を追求したスタンダードモデルです。

ステージサイズ□500mm 大型ワーク対応モデル【EVA-160】

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